TT
|
Chuẩn / thiết bị đo
|
Phạm vi đo
|
Độ không đảm bảo đo
|
1
|
Nguồn laser
|
Bước sóng λ = 633 nm
Tần số 474 THz
|
5x10-11
(24 kHz hay 0,04 fm)
|
2
|
Đo căn mẫu song phẳng bằng phương pháp giao thoa tuyệt đối (1)
|
(0,1 ÷ 100) mm
|
Q[28, 0,30L] nm
L in mm
value from 28 to 41
|
3
|
Căn mẫu song phẳng(2)
|
(0,1 ÷ 1000) mm
|
Steel
|
Q[64, 1,50L] nm
L in mm
value from 64 to 163
|
Tungsten Carbide
|
Q[62, 1,20L] nm
L in mm
value from 62 to 135
|
Ceramic
|
Q[62, 1,50L] nm
L in mm
value from 62 to 163
|
4
|
Thước vạch
|
(0,01 ÷ 5000) mm
|
Steel
|
[0,6, 1,80L] μm
L in m
value from 0,6μm to 2,4μm
|
Glass
|
[0,6, 1,0L] μm
L in m
value from 0,6 μm to 2,1μm
|
5
|
Calip trụ trơn
|
(0,01 ÷ 500) mm
|
Steel
|
[0,38, 1,80L] μm
L in m
value from 0,38μm to 0,74μm
|
6
|
Calip vòng
|
(0,1 ÷ 500) mm
|
(0,5 + 1,2 L) μm
[L]: m
|
7
|
Căn mẫu góc
|
0o ÷ 360o
|
5"
|
8
|
Đồng hồ so
|
(0 ÷ 100) mm
|
≤ 0,010 mm
|
(5 + 6L) μm
[L]: m
|
≤ 0,002 mm
|
(2 + 6L) μm
[L]: m
|
≤ 0,001 mm
|
(1 + 6L) μm
[L]: m
|
9
|
Panme (Micrometer)
|
Giá trị độ chia ≥ 0,0001 mm
Phạm vi đo ≤ 10000 mm
|
(1 + 6L) μm
[L]: m
|
10
|
Thước cặp (Caliper)
|
Giá trị độ chia ≥ 0,010 mm
Phạm vi đo ≤ 2000 mm
|
(5 + 8L) μm
[L]: m
|
11
|
Ke (Precision square)
|
Phạm vi làm việc ≤ 2500 mm
|
5"
|
12
|
Ống tự chuẩn trực (Autocollimator)
|
Giá trị độ chia ≥ 0,2"
|
0,5"
|
13
|
Kinh vĩ (Theodolite)
|
Giá trị độ chia ≥ 1"
|
2"
|
14
|
Máy đo tọa độ
|
Giá trị độ chia ≥ 0,001 μm
Phạm vi đo ≤ 5000 mm
|
± 2 μm
|
15
|
Nivô (Level)
|
Giá trị độ chia ≥ 0,001 mm/m
|
5 μm/ 1 m
|
16
|
Tấm kính phẳng
|
Đường kính F ≤ 100 mm
Độ phẳng F ≥ 0,01 μm
|
0,01 μm
|
17
|
Bàn máp (Surface plate)
|
Kích thước ≤ (10x10) m
|
( 1 + 1,2L ) μm
[L]: m
|
18
|
Máy phóng hình (Projector)
|
Phạm vi đo:
(0 ÷ 500) mm & (0 ÷ 360)°
|
( 1 + 1,2L ) μm
[L]: m
|
19
|
Toàn đạc điện tử (EDM)
|
Giá trị độ chia ≥ 0,01 mm
Phạm vi đo ≤ 10000 mm
|
(3 + 3L) mm
[L]: km
|
20
|
Thủy bình
|
Range: (0 ÷ 360)°
|
5 μm/m
|
21
|
Máy đo 1 tọa độ
|
Phạm vi đo : (0 ÷ 1000) mm
Giá trị độ chia: ≥ 0,01 μm
|
(1 + 2L)μm
[L]: m
|
22
|
Máy đo 2 tọa độ
|
Phạm vi đo : (0 ÷ 1000) mm
Giá trị độ chia: ≥ 0,01 μm
|
(1 + 2L)μm
[L]: m
|
23
|
Dụng cụ đo góc có du xích
|
Phạm vi đo: (0 ÷ 360)°
Giá trị độ chia: ≥ 1'
|
2'
|
24
|
Thước rà phẳng
|
Phạm vi làm việc: ≤ 10 m
|
(1 + 1,2L)μm
[L]: m
|
25
|
Mẫu chuẩn độ nhám
|
|